轻易的发觉设备上的darticl的落点有效提高制程良率
uv光：使用对人体无害的uva，波长365nm
对曝光机，显影机，蚀刻，黄光及偏光板粘附机台，效果尤为显著
对于制程机台or parts cleaner机台上：
1 有机物质
2 油迹
3 水迹
4 带静电paricle
5 毛发
6 纤维
7 胶类物质，之paricle皆可观察